超純水機通過物理與化學結合的凈化技術，其工作流程如下：

1、預處理系統

石英砂過濾：去除水中泥沙、鐵銹等大顆粒懸浮物。

活性炭吸附：吸附余氯、有機物及異色異味，保護后續反滲透膜。

軟化裝置：針對高硬度水質，通過離子交換樹脂置換鈣、鎂離子，防止反滲透膜結垢。

精密過濾：采用5μm或1μm濾芯，攔截微小顆粒，確保進水濁度≤1NTU。

2、反滲透（RO）技術

半透膜分離：利用孔徑0.0001μm的反滲透膜，截留水中99%以上的離子、細菌及大分子有機物。

二級反滲透：部分機型采用雙級RO設計，進一步降低出水TDS值（總溶解固體），確保產水電導率≤5μS/cm。

3、超純化處理

離子交換樹脂：混床中陽離子樹脂與陰離子樹脂協同作用，深度去除水中殘留離子，使電阻率提升至10-18MΩ·cm。

電去離子（EDI）：通過電場驅動離子交換樹脂再生，實現連續制水且無需化學再生劑，適合大規模工業應用。

4、終端處理

紫外氧化（UV）：185nm紫外線分解水中有機物，254nm紫外線殺滅微生物，降低TOC（總有機碳）至≤5ppb。

超濾膜（UF）：孔徑0.01μm的膜過濾器，攔截細菌、內毒素及微粒，確保出水符合無菌要求。

終端微濾：0.22μm或0.45μm濾芯作為最后屏障，防止顆粒物進入用水點。